Academic Journal

A Wafer-Level Vacuum-Packaged MEMS Quadruple Mass Gyroscope Operated in Mode-Split and Open-Loop Detection

Chi tiết về thư mục
Tiêu đề: A Wafer-Level Vacuum-Packaged MEMS Quadruple Mass Gyroscope Operated in Mode-Split and Open-Loop Detection
Nhiều tác giả: Ge, S., Jiang, B., Huang, S., Su, Y.
Nguồn: IEEE Sensors Letters IEEE Sens. Lett. Sensors Letters, IEEE. 9(5):1-4 May, 2025
Cơ sở dữ liệu: IEEE Xplore Digital Library
Miêu tả
số ISSN:24751472
DOI:10.1109/LSENS.2025.3560456